ivdon3@bk.ru
Сведения об авторах выпуска №1 (2013)
Ключевые слова: авторы
Сведения об авторах выпуска №2 (2013)
Ключевые слова: авторы
Сведения об авторах выпуска №4 ч.2 (2012)
Ключевые слова: авторы
Описано микромеханическое зеркало, изготавливаемое по интегральной технологии поверхностной микрообработки. Предложены модели жесткости упругого подвеса устройства для различных режимов его работы. Приведены зависимости собственных частот колебаний чувствительного элемента от геометрических размеров упругого подвеса микромеханического устройства.
Ключевые слова: элементная база, модель, микроэлектромеханическая систем, микрооптикоэлектромеханическая система, микромеханическое зеркало.
Описан микромеханический гироскоп-акселерометр, изготавливаемый по интегральной технологии поверхностной микрообработки. Предложены модели жесткости упругого подвеса устройства для различных режимов его работы. Приведены зависимости собственных частот колебаний чувствительного элемента от геометрических размеров упругого подвеса микромеханического устройства.
Ключевые слова: элементная база, модель, микроэлектромеханическая систем, сенсор, микромеханический гироскоп-акселерометр.
Сведения об авторах выпуска №3 за 2010 год
Ключевые слова: авторы