ivdon3@bk.ru
"Настоящая статья посвящена вопросам разработки методики моделирования элементов микросистемной техники(МСТ) мембранного типа. В работе рассматриваются перфорированные мембраны и исследуется влияние перфорации на механические свойства мембраны. При численном моделировании работы элементов предлагается использовать эквивалентные механические параметры перфорированных мембран, полученных на начальном этапе моделирования. Это позволит найти оптимальные параметры перфорации, сократит время и ресурсоемкость моделирования элементов МСТ. Для апробации методики были проведены численные эксперименты для двух квадратных мембран со сторонами 1,5 и 3 мм закрепленных по контуру одинаковой толщины. Исследовалось влияния размера перфорации на эквивалентный модуль Юнга перфорированных мембран. "
Ключевые слова: микросистемная техника, численное моделирование, перфорированная мембрана
05.13.18 - Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ , 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах
Описан интегральный сенсор угловых скоростей и линейных ускорений LR-типа на основе углеродных нанотрубок. Предложены метод обработки его сигналов. Приведены результаты моделирования.
Ключевые слова: Элементная база, микроэлектромеханическая система, конструкция, сенсор; гироскоп; акселерометр
Рассмотрены полученные результаты моделирования микромеханического сенсора угловых скоростей и линейных ускорений.
Ключевые слова: микросистемная техника, элементная база, моделирование, сенсор, гироскоп, акселерометр
Предложена конструкция актюатора, состоящего из тонких слоев диоксида кремния и алюминия. Выполнены расчеты скорости срабатывания и теплообмена актюатора. При условии оптимального подбора толщин слоев и оптимизации стадий технологического процесса, в особенности глубокого селективного травления кремния, могут быть получены наилучшие показатели по углу отклонения зеркала и скорости работы устройства. Чем больше разность между начальной температурой и температурой нагрева, тем сильнее опускается балка актюатора к плоскости пластины, и, соответственно, меньше угол подъема актюатора над поверхностью пластины. Таким образом возможно осуществлять управление углом наклона балки путем подбора соответствующего нагревателя и напряжения, обеспечивающего необходимую температуру. Приведена конструкция микрозеркала на основе предложенного актюатора. Разработанная конструкция микрозеркала на основе термостимулированного актюатора позволяет обеспечить управление наклоном зеркала в широких пределах.
Ключевые слова: кремний, термоактюатор, микромеханические системы, биморфная структура, микрозеркало
Описано микромеханическое зеркало, изготавливаемое по интегральной технологии поверхностной микрообработки. Предложены модели жесткости упругого подвеса устройства для различных режимов его работы. Приведены зависимости собственных частот колебаний чувствительного элемента от геометрических размеров упругого подвеса микромеханического устройства.
Ключевые слова: элементная база, модель, микроэлектромеханическая систем, микрооптикоэлектромеханическая система, микромеханическое зеркало.
Описан микромеханический гироскоп-акселерометр, изготавливаемый по интегральной технологии поверхностной микрообработки. Предложены модели жесткости упругого подвеса устройства для различных режимов его работы. Приведены зависимости собственных частот колебаний чувствительного элемента от геометрических размеров упругого подвеса микромеханического устройства.
Ключевые слова: элементная база, модель, микроэлектромеханическая систем, сенсор, микромеханический гироскоп-акселерометр.